出手就是重磅！

近日，深圳新凱來工業(yè)機(jī)器有限公司在其官微宣布，將在3月底參加中國國際半導(dǎo)體展。這也是該公司的首次亮相。

新凱來宣布將在半導(dǎo)體展上發(fā)布多款新產(chǎn)品，包括EPI“峨眉山”產(chǎn)品、ETCH“武夷山”產(chǎn)品、CVD“長白山”產(chǎn)品、PVD“普陀山”產(chǎn)品、ALD“阿里山”產(chǎn)品，這些產(chǎn)品可以說都是半導(dǎo)體制造工藝領(lǐng)域的“高端貨”。分析人士認(rèn)為，新凱來有可能再度拉高中國科技的熱度。

新凱來在其官微稱，作為核心半導(dǎo)體裝備提供商，新凱來以技術(shù)創(chuàng)新為根基，致力于先進(jìn)半導(dǎo)體裝備的開發(fā)與制造，為產(chǎn)業(yè)注入強(qiáng)勁動能。天眼查顯示，新凱來工業(yè)機(jī)器背后大股東是新凱來技術(shù)有限公司，而新凱來技術(shù)的間接大股東是深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)，其董事長戴軍亦是國家大基金二期的監(jiān)事，也是中芯國際集成電路制造（深圳）有限公司的董事。

即將亮相

在新凱來官微上，只有一條消息：新凱來邀您共赴SEMICON China 2025。這家神秘且低調(diào)的中國高科技產(chǎn)業(yè)鏈上的重要公司終于要走向臺前。而且，新凱來將在這次亮相中展出重磅產(chǎn)品。

據(jù)悉，此次新凱來將展出EPI“峨眉山”產(chǎn)品、ETCH“武夷山”產(chǎn)品、CVD“長白山”產(chǎn)品、PVD（普陀山）產(chǎn)品、ALD“阿里山”產(chǎn)品等產(chǎn)品。EPI外延層是半導(dǎo)體制造中的重要技術(shù)，尤其是在先進(jìn)制程和第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域。ETCH蝕刻是半導(dǎo)體制造工藝，微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中的一道相當(dāng)重要的步驟。是與光刻相聯(lián)系的圖形化（pattern）處理的一種主要工藝，目前主要由國際主頭主導(dǎo)；CVD化學(xué)氣相沉積是半導(dǎo)體制造中需求量最大的設(shè)備之一，PVD物理氣相沉積、ALD原子層沉積等都是半導(dǎo)體制造工藝當(dāng)中非常重要的高端貨。

低調(diào)的專利大戶

此前，新凱來的曝光度非常低。網(wǎng)上大多數(shù)消息都是其專利信息。3月18日，國家知識產(chǎn)權(quán)局信息顯示，深圳市新凱來工業(yè)機(jī)器有限公司申請一項名為“反射結(jié)構(gòu)、熱輻射單元及加熱裝置”的專利，公開號CN 119620268 A，申請日期為2025年1月。

專利摘要顯示，該申請涉及光學(xué)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及到一種反射結(jié)構(gòu)、熱輻射單元及加熱裝置。反射結(jié)構(gòu)具有容納槽，容納槽具有第一側(cè)壁、第二側(cè)壁和與所述第一側(cè)壁和所述第二側(cè)壁連接的底壁，所述第一側(cè)壁包括第一拋物面，所述第二側(cè)壁包括第二拋物面，所述底壁包括第三拋物面，所述第三拋物面的焦距分別大于所述第一拋物面的焦距和所述第二拋物面的焦距。本申請中的反射結(jié)構(gòu)占用的空間較小，且反射結(jié)構(gòu)反射并匯聚光線的量較多，以提高反射結(jié)構(gòu)的加熱效率。

去年12月，國家知識產(chǎn)權(quán)局信息顯示，深圳市新凱來技術(shù)有限公司申請一項名為“靜電卡盤及工藝設(shè)備”的專利，公開號CN 119069414 A，申請日期為2024年11月。

專利摘要顯示，本申請涉及工藝設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及到一種靜電卡盤及工藝設(shè)備。靜電卡盤包括基底、第一絕緣介質(zhì)層和第二絕緣介質(zhì)層，第一絕緣介質(zhì)層設(shè)置于基底上，第二絕緣介質(zhì)層設(shè)置于第一絕緣介質(zhì)層背離基底的一側(cè)；其中，第一絕緣介質(zhì)層內(nèi)具有至少一個電極對，每個電極對包括一個正電極和一個負(fù)電極，第二絕緣介質(zhì)層和第一絕緣介質(zhì)層在基底的投影中，第二絕緣介質(zhì)層的投影至少部分與一個電極對的投影交疊；第二絕緣介質(zhì)層的電阻率小于第一絕緣介質(zhì)層的電阻率。本申請中的靜電卡盤表面聚集的凈電荷釋放速較快，可以降低待加工器件從卡盤表面脫離的難度。

誰是新凱來？

參加上述展覽的公司是新凱來工業(yè)機(jī)器有限公司，而其大股東是深圳市新凱來技術(shù)有限公司和深圳市均隆高新產(chǎn)業(yè)創(chuàng)業(yè)投資中心。新凱來工業(yè)機(jī)器和新凱來技術(shù)的法定代表人都是余海。

據(jù)新凱來技術(shù)的官網(wǎng)顯示，該公司致力于半導(dǎo)體裝備及零部件、電子制造設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售與服務(wù)。為半導(dǎo)體行業(yè)客戶提供創(chuàng)新技術(shù)與產(chǎn)品解決方案，持續(xù)支撐行業(yè)健康發(fā)展。將國內(nèi)最優(yōu)秀的電子制造解決方案和生產(chǎn)測試裝備推介給行業(yè)客戶，促進(jìn)產(chǎn)業(yè)能力提升。

公司核心團(tuán)隊具備20年以上電子設(shè)備技術(shù)開發(fā)經(jīng)驗，并聯(lián)合了眾多國內(nèi)半導(dǎo)體制造設(shè)備和零部件合作伙伴，為國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠、FAB廠、電子電器設(shè)備廠、研究機(jī)構(gòu)提供先進(jìn)的解決方案，相關(guān)產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于國內(nèi)頂級制造企業(yè)和研究、測試機(jī)構(gòu)。

據(jù)天眼查，新凱來工業(yè)機(jī)器成立于2022年，注冊資本超過10億元人民幣。而新凱來技術(shù)成立于2021年，企業(yè)注冊資本達(dá)15億元人民幣，其大股東是深圳市深芯恒科技投資有限公司（控股100%），而深芯恒科技的大股東是深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)有限公司（控股100%），重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)的大股東則是深圳國資委。重大產(chǎn)投的董事長戴軍是國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金二期股份有限公司的監(jiān)事，也是中芯國際集成電路制造（深圳）有限公司的董事。重大產(chǎn)投的另一位高管黃秀章則是中芯國際集成電路制造（深圳）有限公司的監(jiān)事?？梢哉f，新凱來大股東層面的產(chǎn)業(yè)背景的確是相當(dāng)深厚。

排版：劉藝文

校對：王蔚