光刻機(jī)概念27日盤中發(fā)力走高，截至發(fā)稿，華融化學(xué)、芯碁微裝20%漲停，佳先股份漲超17%，飛凱材料漲超14%，紅寶麗、江化微等漲停，廣信材料漲逾7%。

中信證券指出，光刻機(jī)作為半導(dǎo)體制造過程中價值量和技術(shù)壁壘最高的設(shè)備之一，2024年全球市場規(guī)模超230億美元（SEMI數(shù)據(jù)），其中ASML處于絕對領(lǐng)先；2024年國內(nèi)市場規(guī)模超400億元（SEMI數(shù)據(jù)），但是跟據(jù)我們測算國產(chǎn)化率僅2.5%。目前半導(dǎo)體制造工藝節(jié)點(diǎn)縮小至5nm及以下，曝光波長逐漸縮短至13.5nm，光刻技術(shù)逐步完善成熟，但是國內(nèi)光刻機(jī)仍明顯落后于海外。同時，美國對中國先進(jìn)制程設(shè)備和技術(shù)圍追堵截，光刻機(jī)處于核心“卡脖子”狀態(tài)。不論當(dāng)前國內(nèi)光刻機(jī)實(shí)際進(jìn)展如何，國產(chǎn)高端光刻機(jī)的發(fā)展有望持續(xù)獲得推動，國產(chǎn)光刻機(jī)及產(chǎn)業(yè)鏈將同步受益，市場信心將持續(xù)增強(qiáng)。

該機(jī)構(gòu)表示，國內(nèi)對于光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈的投資和支持力度持續(xù)加大，國產(chǎn)高端光刻機(jī)的發(fā)展有望獲得推動，半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)鏈將有望同步受益。未來若DUV及EUV設(shè)備逐步實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)化突破，國內(nèi)先進(jìn)制程產(chǎn)線有能力逐步實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)替代，有望迎來新一輪的半導(dǎo)體擴(kuò)產(chǎn)周期。建議關(guān)注受到光刻機(jī)“卡脖子”問題影響的半導(dǎo)體制造、設(shè)備、零部件自主化替代的相關(guān)公司，尤其是光刻工藝相關(guān)的設(shè)備和零部件廠商。此外，受益于國產(chǎn)光刻機(jī)突破，我們認(rèn)為未來國內(nèi)先進(jìn)制程擴(kuò)產(chǎn)有望加速。

校對：陶謙